電能轉(zhuǎn)化為化學(xué)能，哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH產(chǎn)生輻射化學(xué)或物理效應(yīng)，使電子膠的分子鏈被切斷或重新組合而形成分子量的變化以實現(xiàn)電子束曝光。采用這種方法，可以實現(xiàn)材料表面微槽或其他幾何形狀的刻蝕加工。

   2.特點(diǎn)

   1)由于電子束能夠極其微細(xì)地聚焦，甚至能聚焦到O.lE}m}所以加工面積可以很小，是一種精密微細(xì)的加工方法。微型機(jī)械中的光刻技術(shù)可達(dá)到亞微米級寬度。

   電子束加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)主要由電子槍、真空系統(tǒng)、控制棄統(tǒng)和電源等部分組成。

   電子槍是獲得電子束的裝置，它包括電子發(fā)射陰極、控制柵極和加速陽極等。陰極經(jīng)能流加熱發(fā)射電子，帶負(fù)電荷的電子高速飛向帶高電位的陽極。在飛向陽極的過程中，經(jīng)過力!速極加速，又通過電磁透鏡把電子束聚焦成很小的束斑。

   發(fā)射陰極一般用鎢或擔(dān)制成，在加熱狀態(tài)下發(fā)射大量電子。小功率時用鎢或擔(dān)做成些狀陰極，大功率時用擔(dān)做成塊狀陰極哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH，控湘柵極為中間有孔的圓筒形，其上加以較陰極為負(fù)的偏壓，既能控制電子束的強(qiáng)弱，又有初步的聚焦作用。加速陽極通常接地，而陰極為很高的負(fù)電壓，所以能驅(qū)使電子加速。